
AIN HEATER
氮化鋁具有電絕緣性和優(yōu)異的導熱性,對于需散熱的應用而言,它是理想之選;此外,由于其熱膨脹系數(shù)接近硅,且具有優(yōu)異的等離子體抗性,可被用于制造半導體加工設備部件。

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